イオンビーム【ion beam】

原子や分子から電子衝击などによってつくられたイオンを，電界や磁界によって制御して方向性を整えた流れ。半導体中への不純物注入·表面清浄化·表面加工，表面および内部の分析などに用いられる。离子束。将由于电子撞击等原因而从原子、分子中产生出来的离子，通过电场、磁场加以控制而调整流向后的离子流。用于往半导体中注入杂质、表面净化、表面加工、表面及内部的分析等。

单词	イオンビーム【ion beam】
释义	イオンビーム【ion beam】原子や分子から電子衝击などによってつくられたイオンを，電界や磁界によって制御して方向性を整えた流れ。半導体中への不純物注入·表面清浄化·表面加工，表面および内部の分析などに用いられる。离子束。将由于电子撞击等原因而从原子、分子中产生出来的离子，通过电场、磁场加以控制而调整流向后的离子流。用于往半导体中注入杂质、表面净化、表面加工、表面及内部的分析等。
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