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シーブイディー[CVD]
释义
シーブイディー
[
CVD
]
〔chemical vapor deposition〕半導体·絶縁体·金属などをガスにして加熱した基板上で化学反応により堆積させ,薄膜を形成する技術。化学的気相成長法。化学蒸着法。
→
真空蒸着
CVD,化学气相沉积法。通过化学反应使半导体、绝缘体、金属等在已用燃气加热的基板上堆积并形成薄膜的技术。
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更新时间:2026/6/2 2:14:21