日语词汇“えんしがいせんレジスト【遠紫外線レジスト】”的翻译、意思、用法、释义-日汉互译翻译词典

单词	えんしがいせんレジスト【遠紫外線レジスト】
释义	えんしがいせん‐レジスト【遠紫外線レジスト】〔ヱンシグワイセン―〕遠紫外線を光源とするフォトレジスト。KrF（クリプトン・弗素ふっそ、波長2二4四8八ナノメートル）、ArF（アルゴン・弗素ふっそ、波長1一9九3三ナノメートル）のエキシマレーザーなどが用いられる。
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