日语词汇“かがくきそうせいちょうほう【化学気相成長法】”的翻译、意思、用法、释义-日汉互译翻译词典

单词	かがくきそうせいちょうほう【化学気相成長法】
释义	かがくきそう‐せいちょうほう【化学気相成長法】〔クワガクキサウセイチヤウハフ〕原料を含む混合ガスを加熱した基板の上に流し、熱分解などの化学反応によって表面に結晶や非晶質の薄膜を蒸着させる方法。半導体素子の製造過程において、絶縁体や金属などの薄膜を形成するのに欠くことのできない重要な技術。化学蒸着法。化学気相堆積法。化学気相反応法。CVD（chemical vapor deposition）。
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