日语词汇“かがくぞうふくレジスト【化学増幅レジスト】”的翻译、意思、用法、释义-日汉互译翻译词典

单词	かがくぞうふくレジスト【化学増幅レジスト】
释义	かがくぞうふく‐レジスト【化学増幅レジスト】〔クワガクゾウフク―〕半導体集積回路などの製造工程で使われるフォトレジストという感光材料のうち、光に反応して自ら酸を発生させ、薬品への溶けやすさを増幅するはたらきをもつもの。1一9九8八0〇年代に実用化され、フォトリソグラフィーの微細化と集積度の飛躍的な向上につながった。化学増幅型レジスト。CAレジスト。
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