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こうおんポリシリコン【高温ポリシリコン】
释义
こうおん
‐
ポリシリコン
【高温ポリシリコン】
〔カウヲン―〕
セ氏
1
一
0
〇
0
〇
0
〇
度以上で形成する多結晶シリコン。アモルファスシリコンを再結晶させることで形成する。高温に耐える石英ガラス基板を使用する必要があり、製造コストが高く、大型化が困難という欠点をもつ。HTPS(high temperature polysilicon)。→低温ポリシリコン
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更新时间:2025/8/10 8:17:52