日语词汇“しんくうぶひん【真空部品】”的翻译、意思、用法、释义-日汉互译翻译词典

单词	しんくうぶひん【真空部品】
释义	しんくう‐ぶひん【真空部品】各種真空装置を構成する部品の総称。真空に面して使用されるため、放出ガスが少ない材料で表面処理を施し、洗浄による付着物の除去などが必要となる。半導体製造装置などで利用される。
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