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しんくうぶひん【真空部品】
释义
しんくう
‐
ぶひん
【真空部品】
各種真空装置を構成する部品の総称。真空に面して使用されるため、放出ガスが少ない材料で表面処理を施し、洗浄による付着物の除去などが必要となる。半導体製造装置などで利用される。
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更新时间:2025/4/5 5:24:24