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ちょうおんぱけんびきょう【超音波顕微鏡】
释义
ちょうおんぱ
‐
けんびきょう
【超音波顕微鏡】
〔テウオンパケンビキヤウ〕
超音波を利用する顕微鏡。周波数が
1
一
0
〇
0
〇
メガヘルツから
3
三
ギガヘルツの超音波パルスを試料に照射し、その反射波や透過波を圧電素子で受信し、試料表面および光学的には見られない内部構造などを観察する。電子部品、半導体素子の非破壊検査などに使われる。
1
一
マイクロメートル程度の分解能をもつ。
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更新时间:2025/8/9 20:51:43