日语词汇“でんしせんレジスト【電子線レジスト】”的翻译、意思、用法、释义-日汉互译翻译词典

单词	でんしせんレジスト【電子線レジスト】
释义	でんしせん‐レジスト【電子線レジスト】電子線リソグラフィーに用いられるレジスト。走査型電子顕微鏡の技術を応用し、主にシリコンウエハー上にパターンを焼き込むフォトマスクの作製に使用する。
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