日语词汇“はんどうたいろこうそうち【半導体露光装置】”的翻译、意思、用法、释义-日汉互译翻译词典

单词	はんどうたいろこうそうち【半導体露光装置】
释义	はんどうたい‐ろこうそうち【半導体露光装置】〔ハンダウタイロクワウサウチ〕シリコンウエハーの基板上に集積回路のパターンを焼き付ける装置。基板をステップ状に移動させるステッパーと、基板とフォトマスクを同時に動かすスキャナーの二方式がある。縮小投映露光装置。
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