日语词汇“ぶつりきそうせいちょうほう【物理気相成長法】”的翻译、意思、用法、释义-日汉互译翻译词典

单词	ぶつりきそうせいちょうほう【物理気相成長法】
释义	ぶつりきそう‐せいちょうほう【物理気相成長法】〔ブツリキサウセイチヤウハフ〕原料をプラズマやレーザーで加熱して蒸発させ、対象とする基板や金属の表面に、物理的に薄膜を蒸着させる方法。分子線エピタキシー、スパッタリング、イオンプレーティングなどの手法があり、半導体素子の製造、工具や金型の表面処理に利用される。物理蒸着法。PVD（physical vapor deposition）。
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