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ぶんしせんエピタキシー【分子線エピタキシー】
释义
ぶんしせん
‐
エピタキシー
【分子線エピタキシー】
高真空下で金属などの材料を蒸発させ、ビーム状の分子線を生成し、基板に照射することで結晶成長を促す手法。真空蒸着の一種。集積回路製作のためのエピタキシャル成長に利用される。分子線エピタクシー。MBE(molecular beam epitaxy)。
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更新时间:2025/4/30 8:42:09