日语词汇“ろくふっかブタジエン【六弗化ブタジエン】”的翻译、意思、用法、释义-日汉互译翻译词典

单词	ろくふっかブタジエン【六弗化ブタジエン】
释义	ろくふっか‐ブタジエン【六×弗化ブタジエン】〔ロクフツクワ―〕弗素化合物の一。半導体集積回路の製造工程において、ドライエッチングの洗浄剤として用いられる。大気寿命が短いため、環境負荷が小さく、地球温暖化係数が高いトリフルオロメタンなどの代替品となる。ヘキサフルオロ-1,3-ブタジエン。化学式C₄F₆
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