日语词汇“イーユーブイリソグラフィー【EUVリソグラフィー】”的翻译、意思、用法、释义-日汉互译翻译词典

单词	イーユーブイリソグラフィー【EUVリソグラフィー】
释义	イーユーブイ‐リソグラフィー【EUVリソグラフィー】極紫外線（EUV）を光源に用いるフォトリソグラフィー。1一0〇ナノメートルまたはそれより短い波長の光によって、従来のエキシマレーザーよりも半導体集積回路の微細化が可能となる。極紫外線リソグラフィー。極端紫外線リソグラフィー。EUVL（extreme ultraviolet lithography）。
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