日语词汇“エッチングガス〖etching gas〗”的翻译、意思、用法、释义-日汉互译翻译词典

单词	エッチングガス〖etching gas〗
释义	エッチング‐ガス〖etching gas〗ドライエッチングで用いられる、高い反応性を示すガス。フルオロメタン、ジフルオロメタン、トリフルオロメタン、六弗化硫黄、六弗化ブタジエンなどが知られる。
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