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ゲッターポンプ〖getter pump〗
释义
ゲッター
‐
ポンプ
〖getter pump〗
真空装置中から不活性な気体を取り除くために、ゲッターとしてはたらく金属で気体をイオン化して吸着・排除するポンプ。
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更新时间:2025/11/15 7:07:44