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ステッパー〖stepper〗
释义
ステッパー
〖stepper〗
シリコンウエハーの基板上に集積回路のパターンを焼き付ける半導体露光装置の一。基板をステップ状に移動し、露光する。
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更新时间:2024/11/10 15:30:08