日语词汇“スパッタリング〖sputtering〗”的翻译、意思、用法、释义-日汉互译翻译词典

单词	スパッタリング〖sputtering〗
释义	スパッタリング〖sputtering〗固体の表面に電界で加速された高エネルギーのイオン粒子を照射して衝突させると、その固体の表面の原子・分子が外へはじき出されて表面が損耗する現象。真空蒸着の困難な高融点・低蒸気圧の元素や酸化物の薄膜を作るのに利用される。
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