日语词汇“ドライエッチング〖dry etching〗”的翻译、意思、用法、释义-日汉互译翻译词典

单词	ドライエッチング〖dry etching〗
释义	ドライ‐エッチング〖dry etching〗半導体集積回路などの微細回路を作製する際、プラズマガスやイオンを用いて、不必要な部分を取り去ること。乾式エッチング。→エッチング3→プラズマエッチング
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