日语词汇“ナノリソグラフィー〖nanolithography〗”的翻译、意思、用法、释义-日汉互译翻译词典

单词	ナノリソグラフィー〖nanolithography〗
释义	ナノリソグラフィー〖nanolithography〗フォトリソグラフィーのうち、おおむね1一0〇0〇ナノメートル以下の線幅による超微細な回路のパターンを描き込む技術のこと。光ではなく、電子線やイオンビームを用いる方法が広く利用されている。
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