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单词 ナノリソグラフィー〖nanolithography〗
释义 ナノリソグラフィー〖nanolithography〗フォトリソグラフィーのうち、おおむね100ナノメートル以下の線幅による超微細な回路のパターンを描き込む技術のこと。光ではなく、電子線やイオンビームを用いる方法が広く利用されている。
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更新时间:2025/4/28 14:18:42