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单词
ナノリソグラフィー〖nanolithography〗
释义
ナノリソグラフィー
〖nanolithography〗
フォトリソグラフィーのうち、おおむね
1
一
0
〇
0
〇
ナノメートル以下の線幅による超微細な回路のパターンを描き込む技術のこと。光ではなく、電子線やイオンビームを用いる方法が広く利用されている。
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更新时间:2025/4/28 14:18:42