日语词汇“フォトリソグラフィー〖photolithography〗”的翻译、意思、用法、释义-日汉互译翻译词典

单词	フォトリソグラフィー〖photolithography〗
释义	フォトリソグラフィー〖photolithography〗《「フォトリトグラフィー」とも》半導体集積回路などの製造工程で、シリコンのウエハー上にフォトレジストという感光材料を塗布し、レチクル（フォトマスク）とよばれる回路のパターンの原板を重ねて光を照射し、エッチングなどで刻み込む技術。光リソグラフィー。リソグラフィー。
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