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マイクロマシニング〖micro machining〗
释义
マイクロ
‐
マシニング
〖micro machining〗
半導体集積回路の製造に用いられる微細加工技術を応用し、数十マイクロメートル程度の微小機械をつくる技術。→ナノマシニング →マイクロマシン →MEMS
メムス
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更新时间:2025/4/27 11:34:57