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マイクロメカトロニクス〖micromechatronics〗
释义
マイクロメカトロニクス
〖micromechatronics〗
半導体製造に用いられる微細加工技術を応用し、マイクロマシンなどの超小型の機械システムをつくる技術の総称。
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更新时间:2025/11/14 13:04:00