日语词汇“メムス〖MEMS〗［micro electro mechanical systems］”的翻译、意思、用法、释义-日汉互译翻译词典

单词	メムス〖MEMS〗［micro electro mechanical systems］
释义	メムス〖MEMS〗《micro electro mechanical systems》半導体集積回路の製造に用いられる微細加工技術を応用し、モーターや駆動系などの機構を組み込んだ超小型の機械システム。微小電気機械システム。微小電子機械システム。→マイクロマシン →MEMSディスプレー
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