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单词
レジスト〖resist〗
释义
レジスト
〖resist〗
可視光・紫外線・X線・電子線などを照射すると変成する素材。照射された部分のみ、耐薬品性の硬膜をつくったり、逆に薬品に溶けやすくなったりする。半導体集積回路やプリント基板などの作製に用いられる。→フォトリソグラフィー
補説
照射する線源の波長や種類により、フォトレジスト、X線レジスト、電子線レジストなどに分類される。
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更新时间:2024/11/10 8:11:54