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エピタキシー【epitaxy】
释义
エピタキシー
【
epitaxy
】
単結晶の基板上に蒸着膜を成長させて単結晶の薄膜をつくること。半導体素子の製造に応用される。エピタキシー成長。
取向附生,取向接长。在单晶的衬底上形成蒸发膜来制造单晶的薄膜。被应用于半导体元件的制造上。
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更新时间:2026/9/19 8:09:10