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きょくしがいせん【極紫外線】
释义
きょく
‐
しがいせん
【極紫外線】
〔―シグワイセン〕
波長
1
一
~
1
一
0
〇
ナノメートル程度の紫外線。波長が短い領域はX線に分類されることもある。短い波長を活かし、半導体の超微細加工を実現する露光技術の研究が進められている。極端紫外線。extreme ultravioletから、EUVまたはXUVともいう。→近紫外線 →遠紫外線
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更新时间:2025/12/22 19:01:15