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单词 きょくしがいせん【極紫外線】
释义 きょくしがいせん【極紫外線】〔―シグワイセン〕波長110ナノメートル程度の紫外線。波長が短い領域はX線に分類されることもある。短い波長を活かし、半導体の超微細加工を実現する露光技術の研究が進められている。極端紫外線。extreme ultravioletから、EUVまたはXUVともいう。→近紫外線 →遠紫外線
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更新时间:2025/8/9 16:21:41