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はんどうたいせいぞうそうち【半導体製造装置】
释义
はんどうたい
‐
せいぞうそうち
【半導体製造装置】
〔ハンダウタイセイザウサウチ〕
半導体集積回路を製造するための装置の総称。半導体に不純物を添加(ドーピング)する装置、ウエハーを製造する装置、回路パターンの焼き付け(フォトリソグラフィー)をする露光装置、組み立てや検査をする装置などを指す。
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更新时间:2025/6/27 16:53:38