日语词汇“エックスせんリソグラフィー【X線リソグラフィー】”的翻译、意思、用法、释义-日汉互译翻译词典

单词	エックスせんリソグラフィー【X線リソグラフィー】
释义	エックスせん‐リソグラフィー【X線リソグラフィー】半導体集積回路などの製造方法の一つ。シリコンウエハーにX線レジストなどの感光材を塗布し、X線吸収率が高い金属などの回路原版を重ね、波長がやや長い軟X線を照射して転写する。フォトリソグラフィーよりも微細な加工が可能。
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