日语词汇“でんしビームろこうそうち【電子ビーム露光様置】”的翻译、意思、用法、释义-日汉互译翻译词典

单词	でんしビームろこうそうち【電子ビーム露光様置】
释义	でんしビームろこうそうち【電子ビーム露光様置】〔electronic beam exposure equipment〕電子ビームを用いて，半導体回路を描く様置。微細な回路をシリコンウエハー上に直接描くことができる。电子束照像滤光器。使用电子束描绘半导体电路的装置，可直接将精细的电路直接描绘在硅片上。
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