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でんしビームろこうそうち【電子ビーム露光様置】
释义
でんしビームろこうそうち
【
電子ビーム露光様置
】
〔electronic beam exposure equipment〕電子ビームを用いて,半導体回路を描く様置。微細な回路をシリコンウエハー上に直接描くことができる。
电子束照像滤光器。使用电子束描绘半导体电路的装置,可直接将精细的电路直接描绘在硅片上。
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更新时间:2025/8/8 1:55:26